微焦點(diǎn)技術(shù)以其*的成像性能得到了越來(lái)越多的關(guān)注與應(yīng)用。介紹了微焦點(diǎn)X射線(xiàn)設(shè)備的研制現(xiàn)狀和基于X射線(xiàn)焦點(diǎn)成像的物理機(jī)制。分析了微焦點(diǎn)技術(shù)在成像幾何不清晰度、放大比、散射線(xiàn)衰減和細(xì)節(jié)識(shí)別靈敏度方面的優(yōu)勢(shì)，該技術(shù)可彌補(bǔ)常規(guī)射線(xiàn)照相技術(shù)的不足，在實(shí)時(shí)成像檢測(cè)及工業(yè)X射線(xiàn)檢測(cè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。

　　

　　微焦點(diǎn)X射線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)由高頻高壓微焦點(diǎn)X射線(xiàn)源、X射線(xiàn)圖像傳感器、計(jì)算機(jī)、四維機(jī)械平臺(tái)等組成，是集現(xiàn)代計(jì)算機(jī)軟件技術(shù)、精密機(jī)械制造技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、電子技術(shù)、傳感器技術(shù)、無(wú)損檢測(cè)技術(shù)和圖像處理技術(shù)等于一體的高科技產(chǎn)品。是進(jìn)行產(chǎn)品研究、失效分析、高可靠篩選、質(zhì)量評(píng)價(jià)、改進(jìn)工藝等工作的有效手段。

　　

　　系統(tǒng)涵蓋了光、機(jī)、電三大類(lèi)技術(shù)領(lǐng)域，利用X射線(xiàn)與成像單元相配合，能夠?qū)崟r(shí)觀測(cè)到輪轂的檢測(cè)圖像，從而判定內(nèi)部是否存在缺陷及缺陷類(lèi)型和等級(jí)，同時(shí)通過(guò)計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)完成對(duì)圖像的存儲(chǔ)和處理，以提高圖像的清晰度，保證評(píng)定的準(zhǔn)確性。既具有持續(xù)穩(wěn)定長(zhǎng)時(shí)間工作的能力，也具有高放大倍率的能力。

　　

　　微焦點(diǎn)X射線(xiàn)檢測(cè)滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)X射線(xiàn)檢測(cè)的需求，外形美觀、檢測(cè)區(qū)域大、分辨率強(qiáng)、放大倍率高。該系統(tǒng)采用封閉式射線(xiàn)源和平板探測(cè)器作為核心部件，具備的檢測(cè)效果。適用于半導(dǎo)體、封裝元器件、電子連接器模組檢測(cè)、光伏行業(yè)等特殊行業(yè)的檢測(cè)。

　　

　　在進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，常規(guī)微射線(xiàn)檢測(cè)存在很大差異：我們通常不需要考慮圖像半影的大小，即通常不考慮幾何清晰度的影響，原因是當(dāng)焦點(diǎn)尺寸足夠小時(shí)，可以忽略半影。因此，當(dāng)X射線(xiàn)視野在可接受范圍內(nèi)，我們可以小化從樣品到焦點(diǎn)的距離。

　　

　　為什么要使用微焦點(diǎn)X射線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，主要是為了達(dá)到納米級(jí)直徑跳躍誤差和運(yùn)動(dòng)精度，確保樣品在測(cè)試過(guò)程中的穩(wěn)定性，保證圖像的高清畫(huà)質(zhì)，同時(shí)具有樣品運(yùn)動(dòng)自適應(yīng)校正功能，有效降低了樣品掃描過(guò)程中運(yùn)動(dòng)和變形引起的不良重建效果。